由三台单体机所组成，并可分别单独进行三种化学品作业，适用于 TEOS, TEPO, TEB, OMCTS, 4MS, TDMAT, TICL4, HCDS, TCS, DCE 等通用及特殊化学品。。

● 型号：TCSS-200H
● 气体供应方式: Each Bulk &Process (总3组)
● 控制系统: PLC
● 设备尺寸：1300(W)*700(D)*2100(H）