适用于半导体、Display、OLED 等尖端产业的清洁工程，不会产生环境有害物质，增加臭氧水利用率。

● 浓度可根据需求配置调整，稳定在 120 秒内
● O3 Generator 采用 Cell 方法，功耗率可降低约 50%
● 低功率高浓度臭氧气体产生装置
● 最小化设备尺寸，与臭氧水接触区域均由 PFA/PVDF 耐酸材料制成，
● 核心部件自行生产，实现快速服务响应。